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MemCel - an inexpensive and efficient tool for 3D MEMS prototyping

Emmenegger, Markus; Korvink, Jan G.; Baltes, Henry



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 1000049089
Erschienen in Proceedings of the 1998 ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition; Anaheim, CA, USA; ; 15 November 1998 through 20 November 1998
Verlag ASME, New York (NY)
Seiten 559-563
Serie DSC ; 66
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