MemCel - an inexpensive and efficient tool for 3D MEMS prototyping
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000049089 |
| Erschienen in | Proceedings of the 1998 ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition; Anaheim, CA, USA; ; 15 November 1998 through 20 November 1998 |
| Verlag | The American Society of Mechanical Engineers (ASME) |
| Seiten | 559-563 |
| Serie | DSC ; 66 |
| Nachgewiesen in | Scopus |