Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 1998 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000049089 |
Erschienen in | Proceedings of the 1998 ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition; Anaheim, CA, USA; ; 15 November 1998 through 20 November 1998 |
Verlag | The American Society of Mechanical Engineers (ASME) |
Seiten | 559-563 |
Serie | DSC ; 66 |
Nachgewiesen in | Scopus |