Simulation of a thermomechanically actuated gas sensor
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 0-7803-4412-X KITopen-ID: 1000049090 |
| Erschienen in | Proceedings / IEEE The Eleventh Annual International Workshop on Micro-Electro-Mechanical Systems : an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and systems; January 25 - 29, 1998, Heidelberg, Germany |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 184-189 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus OpenAlex |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |