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Simulation of a thermomechanically actuated gas sensor

Emmenegger, M.; Taschini, S.; Korvink, J.G.; Baltes, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1109/MEMSYS.1998.659751
ISBN: 0-7803-4412-X
KITopen ID: 1000049090
Erschienen in Proceedings / IEEE The Eleventh Annual International Workshop on Micro-Electro-Mechanical Systems : an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and systems; January 25 - 29, 1998, Heidelberg, Germany
Verlag IEEE, Piscataway (NJ)
Seiten 184-189
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