Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 1998 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 0-7803-4412-X KITopen-ID: 1000049090 |
Erschienen in | Proceedings / IEEE The Eleventh Annual International Workshop on Micro-Electro-Mechanical Systems : an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and systems; January 25 - 29, 1998, Heidelberg, Germany |
Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
Seiten | 184-189 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |