KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Simulation of a thermomechanically actuated gas sensor

Emmenegger, M.; Taschini, S.; Korvink, J. G.; Baltes, H.


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/MEMSYS.1998.659751
Scopus
Zitationen: 12
Dimensions
Zitationen: 9
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 0-7803-4412-X
KITopen-ID: 1000049090
Erschienen in Proceedings / IEEE The Eleventh Annual International Workshop on Micro-Electro-Mechanical Systems : an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and systems; January 25 - 29, 1998, Heidelberg, Germany
Verlag Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
Seiten 184-189
Nachgewiesen in Dimensions
Scopus
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page