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Automated extraction of capacitances and electrostatic forces in MEMS and ULSI interconnects from the mask layout

Bachtold, M.; Taschini, S.; Korvink, J.G.; Baltes, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1997
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1109/IEDM.1997.650216
ISSN: 0163-1918
KITopen ID: 1000049091
Erschienen in Technical Digest - International Electron Devices Meeting, IEDM
Seiten 129-132
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