Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 1997 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0163-1918 KITopen-ID: 1000049091 |
Erschienen in | Technical Digest - International Electron Devices Meeting, IEDM |
Seiten | 129-132 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |