Automated extraction of capacitances and electrostatic forces in MEMS and ULSI interconnects from the mask layout
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0163-1918 KITopen-ID: 1000049091 |
| Erschienen in | Technical Digest - International Electron Devices Meeting, IEDM |
| Seiten | 129-132 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |