Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1997 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1057-7157 KITopen-ID: 1000049093 |
Erschienen in | Journal of Microelectromechanical Systems |
Verlag | IEEE Electron Devices Society |
Band | 6 |
Heft | 2 |
Seiten | 126-135 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |
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