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Electrostatic aluminum micromirrors using double-pass metallization

Bühler, Johannes; Funk, Jörg; Korvink, Jan G.; Steiner, Franz-Peter; Sarro, Pasqualina Maria; Baltes, Henry



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1997
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1109/84.585790
ISSN: 1057-7157
KITopen ID: 1000049093
Erschienen in Journal of Microelectromechanical Systems
Band 6
Heft 2
Seiten 126-135
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