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Electrostatic aluminum micromirrors using double-pass metallization

Bühler, Johannes 1; Funk, Jörg; Korvink, Jan G.; Steiner, Franz-Peter; Sarro, Pasqualina Maria; Baltes, Henry
1 Universität Karlsruhe (TH)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/84.585790
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Zitationen: 51
Dimensions
Zitationen: 46
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1997
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1057-7157
KITopen-ID: 1000049093
Erschienen in Journal of Microelectromechanical Systems
Verlag IEEE Electron Devices Society
Band 6
Heft 2
Seiten 126-135
Nachgewiesen in Dimensions
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