Electrostatic aluminum micromirrors using double-pass metallization
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1057-7157 KITopen-ID: 1000049093 |
| Erschienen in | Journal of Microelectromechanical Systems |
| Verlag | IEEE Electron Devices Society |
| Band | 6 |
| Heft | 2 |
| Seiten | 126-135 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |