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SOLIDIS: A tool for microactuator simulation in 3-D

Funk, Jörg M.; Korvink, Jan G.; Bühler, Johannes; Bächtold, Martin; Baltes, Henry



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1997
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1057-7157, 1941-0158
KITopen ID: 1000049094
Erschienen in Journal of microelectromechanical systems
Band 6
Heft 1
Seiten 70-81
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