SOLIDIS: A tool for microactuator simulation in 3-D
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1057-7157, 1941-0158 KITopen-ID: 1000049094 |
| Erschienen in | Journal of microelectromechanical systems |
| Verlag | IEEE Electron Devices Society |
| Band | 6 |
| Heft | 1 |
| Seiten | 70-81 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |