| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1997 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 0-7803-3829-4 KITopen-ID: 1000049095 |
| Erschienen in | Digest of technical papers. 9th International Conference on Solid State Sensors and Actuators, June 16 - 19, 1997, Chicago, Illinois, USA. Vol. 1 |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 125-128 |
| Nachgewiesen in | Scopus |