IC MEMS microtransducers
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 0-7803-3393-4 ISSN: 0163-1918 KITopen-ID: 1000049096 |
| Erschienen in | Technical Digest. International Electron Devices Meeting 1996 : IEMD; San Francisco, CA, December 8 - 11, 1996 |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 521-524 |
| Nachgewiesen in | Dimensions OpenAlex Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |