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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/IEDM.1996.553858

IC MEMS microtransducers

Baltes, H.; Paul, O.; Korvink, J.G.; Schneider, M.; Bühler, J.; Schneeberger, N.; Jaeggi, D.; Malcovati, P.; Hornung, M.; Haberli, A.; Arx, M. von; Mayer, F.; Funk, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 0-7803-3393-4
ISSN: 0163-1918
KITopen ID: 1000049096
Erschienen in Technical Digest. International Electron Devices Meeting 1996 : IEMD; San Francisco, CA, December 8 - 11, 1996
Verlag IEEE, Piscataway (NJ)
Seiten 521-524
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