Simulation toolbox and material parameter data base for CMOS MEMS
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 0-7803-3596-1 KITopen-ID: 1000049097 |
| Erschienen in | Proceedings of the Seventh International Symposium on Micro Machine and Human Science : Nagoya Municipal Industrial Research Institute, October 2 - 4, 1996 |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 1-8 |
| Nachgewiesen in | Scopus OpenAlex Dimensions |