Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 1996 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 0-7803-3596-1 KITopen-ID: 1000049097 |
Erschienen in | Proceedings of the Seventh International Symposium on Micro Machine and Human Science : Nagoya Municipal Industrial Research Institute, October 2 - 4, 1996 |
Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
Seiten | 1-8 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |