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Simulation toolbox and material parameter data base for CMOS MEMS

Baltes, H.; Paul, O.; Korvink, J.G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1109/MHS.1996.563393
ISBN: 0-7803-3596-1
KITopen ID: 1000049097
Erschienen in Proceedings of the Seventh International Symposium on Micro Machine and Human Science : Nagoya Municipal Industrial Research Institute, October 2 - 4, 1996
Verlag IEEE, Piscataway (NJ)
Seiten 1-8
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