Simulation aspects of a thermal accelerometer
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0924-4247 KITopen-ID: 1000049099 |
| Erschienen in | Sensors and Actuators, A: Physical |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 55 |
| Heft | 1 |
| Seiten | 3-6 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |