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Simulation aspects of a thermal accelerometer

Dauderstädt, Ulrike A.; De Vries, Paul H. S.; Hiratsuka, R.; Korvink, Jan G.; Sarro, Pasqualina Maria; Baltes, Henry; Middelhoek, Simon



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1016/S0924-4247(96)01241-1
ISSN: 0924-4247
KITopen ID: 1000049099
Erschienen in Sensors and Actuators, A: Physical
Band 55
Heft 1
Seiten 3-6
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