Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1996 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0924-4247 KITopen-ID: 1000049099 |
Erschienen in | Sensors and Actuators, A: Physical |
Verlag | Elsevier |
Band | 55 |
Heft | 1 |
Seiten | 3-6 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |