Coupled 3D thermo-electro-mechanical simulations of microactuators
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 0-7803-2985-6 KITopen-ID: 1000049100 |
| Erschienen in | Proceedings / IEEE The Ninth Annual International Workshop on Micro-Electro-Mechanical Systems : an investigation of micro-structures, sensors, actuators, machines and systems; San Diego, California, USA, February 11 - 15, 1996 |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 133-138 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |