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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/MEMSYS.1996.493842

Coupled 3D thermo-electro-mechanical simulations of microactuators

Funk, J.; Korvink, J.G.; Bachtold, M.; Buhler, J.; Baltes, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 0-7803-2985-6
KITopen ID: 1000049100
Erschienen in Proceedings / IEEE The Ninth Annual International Workshop on Micro-Electro-Mechanical Systems : an investigation of micro-structures, sensors, actuators, machines and systems; San Diego, California, USA, February 11 - 15, 1996
Verlag IEEE, Piscataway (NJ)
Seiten 133-138
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