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New convergence scheme for self-consistent electromechanical analysis of iMEMS

Bächtold, M.; Korvink, J.G.; Funk, J.; Baltes, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 0-7803-2700-4
ISSN: 0163-1918
KITopen ID: 1000049101
Erschienen in Technical digest / International Electron Devices Meeting 1995 : Washington, DC, December 10 - 13, 1995
Verlag IEEE, Piscataway (NJ)
Seiten 605-608
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