New convergence scheme for self-consistent electromechanical analysis of iMEMS
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 0-7803-2700-4 ISSN: 0163-1918 KITopen-ID: 1000049101 |
| Erschienen in | Technical digest / International Electron Devices Meeting 1995 : Washington, DC, December 10 - 13, 1995 |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 605-608 |
| Nachgewiesen in | Scopus |