Polymer coated capacitive microintegrated gas sensor

Steiner, F. P.; Hierlemann, A.; Cornila, C.; Noetzel, G.; Bachtold, M.; Korvink, J. G.; Gopel, W.; Baltes, H.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1995
Sprache	Englisch
Identifikator	ISBN: 91-630-3473-5 KITopen-ID: 1000049103
Erschienen in	International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, and Eurosensors IX, Proceedings. 25-29 June 1995. Vol. 2. Ed.: I. Lundström
Verlag	Foundation for Sensor and Actuator Technology
Seiten	814-817
Nachgewiesen in	Scopus