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Polymer coated capacitive microintegrated gas sensor

Steiner, F.P.; Hierlemann, A.; Cornila, C.; Noetzel, G.; Bachtold, M.; Korvink, J.G.; Gopel, W.; Baltes, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 91-630-3473-5
KITopen ID: 1000049103
Erschienen in International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, and Eurosensors IX, Proceedings. 25-29 June 1995. Vol. 2. Ed.: I. Lundström
Verlag Foundation for Sensor and Actuator Technology, Stockholm
Seiten 814-817
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