Thermomechanical modeling of an actuated micromirror
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0924-4247 KITopen-ID: 1000049104 |
| Erschienen in | Sensors and Actuators, A: Physical |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 47 |
| Heft | 1-3 |
| Seiten | 632-636 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions |