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Thermomechanical modeling of an actuated micromirror

Funk, Jörg M.; Bühler, Johannes; Korvink, Jan G.; Baltes, Henry



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1016/0924-4247(94)00976-O
ISSN: 0924-4247
KITopen ID: 1000049104
Erschienen in Sensors and Actuators, A: Physical
Band 47
Heft 1-3
Seiten 632-636
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