Determination of the thermal conductivity of CMOS IC polysilicon
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0924-4247 KITopen-ID: 1000049105 |
| Erschienen in | Sensors and Actuators: A. Physical |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 41 |
| Heft | 1-3 |
| Seiten | 161-164 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science OpenAlex Scopus |