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Determination of the thermal conductivity of CMOS IC polysilicon

Paul, O.M.; Korvink, J.; Baltes, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1016/0924-4247(94)80106-1
ISSN: 0924-4247
KITopen ID: 1000049105
Erschienen in Sensors and Actuators: A. Physical
Band 41
Heft 1-3
Seiten 161-164
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