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SESES: a comprehensive MEMS modelling system

Korvink, Jan G.; Funk, Jörg M.; Roos, M. B.; Wachutka, Gerhard; Baltes, Henry



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1109/MEMSYS.1994.555592
ISBN: 0-7803-1833-1
KITopen ID: 1000049107
Erschienen in Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems, Oiso, 25 Jan 1994-28 Jan 1994
Verlag IEEE, Piscataway (NJ)
Seiten 22-27
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