SESES: a comprehensive MEMS modelling system
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 0-7803-1833-1 KITopen-ID: 1000049107 |
| Erschienen in | Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems, Oiso, 25 Jan 1994-28 Jan 1994 |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 22-27 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |