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IMEMS-Integrated micro electro mechanical systems by VLSI and micromachining

Baltes, H.; Brand, O.; Korvink, J.G.; Lenggenhager, R.; Paul, O.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 2-86332-157-9
ISSN: 1930-8876
KITopen ID: 1000049108
Erschienen in Proceedings of the 24th European Solid State Device Research Conference : the Edinburgh Conference Centre, Heriot-Watt University, Edinburgh, Scotland, 11th - 15th September 1994, ESSDERC '94. Ed.: C. Hill
Verlag Ed. Frontières, Gif-sur-Yvette
Seiten 273-280
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