IMEMS-Integrated micro electro mechanical systems by VLSI and micromachining
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 2-86332-157-9 ISSN: 1930-8876 KITopen-ID: 1000049108 |
| Erschienen in | Proceedings of the 24th European Solid State Device Research Conference : the Edinburgh Conference Centre, Heriot-Watt University, Edinburgh, Scotland, 11th - 15th September 1994, ESSDERC '94. Ed.: C. Hill |
| Verlag | Ed. Frontières |
| Seiten | 273-280 |
| Nachgewiesen in | Scopus |