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A micro electro mechanical CAD extension for SESES

Schwarzenbach, H.U.; Korvink, J.G.; Roos, M.; Sartoris, G.; Anderheggen, E.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/0960-1317/3/3/006
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Zitationen: 5
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Zitationen: 6
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1993
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0960-1317
KITopen-ID: 1000049109
Erschienen in Journal of Micromechanics and Microengineering
Verlag IOP Publishing
Band 3
Heft 3
Seiten 118-122
Nachgewiesen in Scopus
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