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A micro electro mechanical CAD extension for SESES

Schwarzenbach, H.U.; Korvink, J.G.; Roos, M.; Sartoris, G.; Anderheggen, E.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1993
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1088/0960-1317/3/3/006
ISSN: 0960-1317
KITopen ID: 1000049109
Erschienen in Journal of Micromechanics and Microengineering
Band 3
Heft 3
Seiten 118-122
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