Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1993 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0960-1317 KITopen-ID: 1000049109 |
Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
Band | 3 |
Heft | 3 |
Seiten | 118-122 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |