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Three-dimensional modelling of capacitive humidity sensors

Chandran, Leena; Baltes, Henry; Korvink, Jan G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1990
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1016/0924-4247(90)87038-K
ISSN: 0924-4247
KITopen ID: 1000049110
Erschienen in Sensors and Actuators A: Physical
Band 25
Heft 1-3
Seiten 243-247
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