Three-dimensional modelling of capacitive humidity sensors
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1990 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0924-4247 KITopen-ID: 1000049110 |
| Erschienen in | Sensors and Actuators A: Physical |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 25 |
| Heft | 1-3 |
| Seiten | 243-247 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |