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MEMS and NEMS Simulation

Korvink, Jan G.; Rudnyi, Evgenii B.; Greiner, Andreas; Liu, Zhenyu



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/978-3-540-33655-6_3
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-3-540-21117-4
KITopen-ID: 1000049329
Erschienen in MEMS : a practical guide to design, analysis, and applications. Ed.: J.G. Korvink
Verlag Springer, Heidelberg
Seiten 93-186
Serie Micro-electro-mechanical systems
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