Fast simulation of electro-thermal MEMS : efficient dynamic compact models
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buch |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-540-34612-8 KITopen-ID: 1000049343 |
| Verlag | Springer-Verlag |
| Umfang | XI, 180 S. |
| Nachgewiesen in | Dimensions |