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Fast simulation of electro-thermal MEMS : efficient dynamic compact models

Bechtold, Tamara; Rudnyi, Evgenii B.; Korvink, Jan G.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/978-3-540-34613-5
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buch
Jahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-3-540-34612-8
KITopen-ID: 1000049343
Verlag Springer, Berlin
Umfang XI, 180 S.
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