Semiconductors for Micro- and Nanotechnology. An Introduction for Engineers
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buch |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-527-30257-4 KITopen-ID: 1000049344 |
| Verlag | Wiley-VCH Verlag |
| Umfang | 340 S. |
| Nachgewiesen in | Dimensions |