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Semiconductors for Micro- and Nanotechnology. An Introduction for Engineers

Korvink, Jan G.; Greiner, Andreas



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buch
Jahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1002/3527600221
ISBN: 978-3-527-30257-4
KITopen ID: 1000049344
Verlag Wiley-VCH, Weinheim
Umfang 340 S.
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