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Semiconductors for Micro- and Nanotechnology. An Introduction for Engineers

Korvink, Jan G.; Greiner, Andreas



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1002/3527600221
Dimensions
Zitationen: 9
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buch
Publikationsjahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-3-527-30257-4
KITopen-ID: 1000049344
Verlag Wiley-VCH Verlag
Umfang 340 S.
Nachgewiesen in Dimensions
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