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Enabling technologies for MEMS and nanodevices

Baltes, H. [Hrsg.]; Brand, O. [Hrsg.]; Fedder, G.K. [Hrsg.]; Hierold, C. [Hrsg.]; Korvink, Jan G. [Hrsg.]; Tabata, O. [Hrsg.]



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buch
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-3-527-33498-8
KITopen ID: 1000049361
Verlag Wiley-VCH, Weinheim
Umfang XII, 427 S.
Serie Advanced micro & nanosystems ; 1
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