Enabling technologies for MEMS and nanodevices

Baltes, H. [Hrsg.]; Brand, O. [Hrsg.]; Fedder, G. K. [Hrsg.]; Hierold, C. [Hrsg.]; Korvink, Jan G. [Hrsg.]; Tabata, O. [Hrsg.]

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Buch
Publikationsjahr	2004
Sprache	Englisch
Identifikator	ISBN: 978-3-527-33498-8 KITopen-ID: 1000049361
Verlag	Wiley-VCH Verlag
Umfang	XII, 427 S.
Serie	Advanced micro & nanosystems ; 1