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Microengineering of Metals and Ceramics. Part 2: Special replication techniques, automation and properties

Löhe, Detlef [Hrsg.]; Haußelt, Jürgen [Hrsg.]



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT)
Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffkunde (IAM-WK)
Publikationstyp Buch
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-3-527-31493-5
KITopen ID: 1000049368
Verlag Wiley-VCH, Weinheim
Umfang XV S., S. 357 - 644
Serie Advanced micro & nanosystems ; 4
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