Microengineering of Metals and Ceramics. Part 2: Special replication techniques, automation and properties
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT) Institut für Angewandte Materialien – Werkstoffkunde (IAM-WK) |
| Publikationstyp | Buch |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-527-31493-5 KITopen-ID: 1000049368 |
| Verlag | Wiley-VCH Verlag |
| Umfang | XV S., S. 357 - 644 |
| Serie | Advanced micro & nanosystems ; 4 |