| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000049437 |
| Veranstaltung | 10th MicRO Alliance Meeting, 21-22 November, 2013, Kyoto University, Japan |