Online-Measurement of effective particle density and coating thickness for nanostructures by low pressure impaction
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mechanische Verfahrenstechnik und Mechanik (MVM) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000050128 |
| Erschienen in | Nano-Symposium KIT, November 12-13, 2012, Karlsruhe |