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Online-Measurement of effective particle density and coating thickness for nanostructures by low pressure impaction

Weis, F.; Seipenbusch, M.; Kasper, G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mechanische Verfahrenstechnik und Mechanik (MVM)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 1000050128
Erschienen in Nano-Symposium KIT, November 12-13, 2012, Karlsruhe
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