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Optical loss by surface transfer doping in silicon waveguides

Alloatti, L. 1,2; Koos, C. 1,2,3; Leuthold, J. 1,2,3
1 Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
3 Center for Functional Nanostructures (CFN), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)

Zugehörige Institution(en) am KIT Center for Functional Nanostructures (CFN)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ)
Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0003-6951, 1077-3118
KITopen-ID: 1000051927
HGF-Programm 43.23.03 (POF III, LK 01) Teratronics
Erschienen in Applied physics letters
Verlag American Institute of Physics (AIP)
Band 107
Heft 3
Seiten Art.Nr.: 031107
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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1063/1.4927313
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seit 18.05.2018
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