Optical loss by surface transfer doping in silicon waveguides
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Center for Functional Nanostructures (CFN) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0003-6951, 1077-3118 KITopen-ID: 1000051927 |
| HGF-Programm | 43.23.03 (POF III, LK 01) Teratronics |
| Erschienen in | Applied physics letters |
| Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
| Band | 107 |
| Heft | 3 |
| Seiten | Art.Nr.: 031107 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |