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Optical loss by surface transfer doping in silicon waveguides

Alloatti, L.; Koos, C.; Leuthold, J.

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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1063/1.4927313
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Zitationen: 6
Web of Science
Zitationen: 5
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ)
Center for Functional Nanostructures (CFN)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0003-6951, 1077-3118
KITopen-ID: 1000051927
HGF-Programm 43.23.03 (POF III, LK 01)
Erschienen in Applied physics letters
Band 107
Heft 3
Seiten Art.Nr.: 031107
Nachgewiesen in Web of Science
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