Angle-resolved X-ray reflectivity measurements during off-normal sputter deposition of VN
Krause, B.
1; Kaufholz, M. 1; Kotapati, S. 1; Schneider, R. 2; Müller, E.
2; Gerthsen, D. 2; Wochner, P.; Baumbach, T. 3,4
1 Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
3 Laboratorium für Applikationen der Synchrotronstrahlung (LAS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
4 ANKA - die Synchrotronstrahlungsquelle am KIT (ANKA), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Kaufholz, M. 1; Kotapati, S. 1; Schneider, R. 2; Müller, E.
2; Gerthsen, D. 2; Wochner, P.; Baumbach, T. 3,41 Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
3 Laboratorium für Applikationen der Synchrotronstrahlung (LAS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
4 ANKA - die Synchrotronstrahlungsquelle am KIT (ANKA), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | ANKA - die Synchrotronstrahlungsquelle am KIT (ANKA) Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS) Laboratorium für Applikationen der Synchrotronstrahlung (LAS) Laboratorium für Elektronenmikroskopie (LEM) Universität Karlsruhe (TH) – Zentrale Einrichtungen (Zentrale Einrichtungen) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0257-8972, 1879-3347 KITopen-ID: 1000052519 |
| HGF-Programm | 56.03.20 (POF III, LK 01) Nanoscience a.Material f.Inform.Technol. |
| Weitere HGF-Programme | 54.01.01 (POF III, LK 01) ps- und fs-Strahlen |
| Erschienen in | Surface and coatings technology |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 277 |
| Seiten | 52 - 57 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions |