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Characterization and reliability testing of thin-film materials for robust MEMS sensors

Rusanov, Radoslav



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoff- und Biomechanik (IAM-WBM)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 2016
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-3-8440-4260-3
KITopen ID: 1000053083
HGF-Programm 43.22.01; LK 01
Verlag Shaker, Aachen
Umfang XXIX, 249 S.
Serie Berichte aus der Mikrosystemtechnik
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Angewandte Materialien - Computational Materials Science (IAM-CMS)
Prüfungsdaten 23.11.2015
Referent/Betreuer Prof. O. Kraft
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