Characterization and reliability testing of thin-film materials for robust MEMS sensors
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Werkstoff- und Biomechanik (IAM-WBM) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-8440-4260-3 KITopen-ID: 1000053083 |
| HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
| Verlag | Shaker Verlag |
| Umfang | XXIX, 249 S. |
| Serie | Berichte aus der Mikrosystemtechnik |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Institut für Angewandte Materialien – Computational Materials Science (IAM-CMS) |
| Prüfungsdaten | 23.11.2015 |
| Referent/Betreuer | Kraft, O. |