Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0021-8979 KITopen-ID: 1000053118 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Journal of Applied Physics |
Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
Band | 118 |
Heft | 23 |
Seiten | 233107/1-10 |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |