Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1674-1056 KITopen-ID: 1000053122 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Chinese Physics B |
Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
Band | 24 |
Heft | 12 |
Seiten | 128705/1-10 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |