| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1674-1056 KITopen-ID: 1000053122 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Chinese Physics B |
| Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
| Band | 24 |
| Heft | 12 |
| Seiten | 128705/1-10 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus OpenAlex Web of Science |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |