A method of mechanical stabilization of ultra-high-AR microstructures

Nazmov, V.; Reznikova, E.; Mohr, J.; Voigt, A.

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Jahr	2016
Sprache	Englisch
Identifikator	DOI: 10.1016/j.jmatprotec.2015.12.002 ISSN: 0924-0136, 1873-4774 KITopen ID: 1000053228
HGF-Programm	43.23.02; LK 01
Erschienen in	Journal of materials processing technology
Band	231
Seiten	319-325