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A method of mechanical stabilization of ultra-high-AR microstructures

Nazmov, V.; Reznikova, E.; Mohr, J.; Voigt, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2016
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1016/j.jmatprotec.2015.12.002
ISSN: 0924-0136, 1873-4774
KITopen ID: 1000053228
HGF-Programm 43.23.02; LK 01
Erschienen in Journal of materials processing technology
Band 231
Seiten 319-325
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