A method of mechanical stabilization of ultra-high-AR microstructures
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Jahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0924-0136, 1873-4774 KITopen-ID: 1000053228 |
| HGF-Programm | 43.23.02 (POF III, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of materials processing technology |
| Band | 231 |
| Seiten | 319-325 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus |