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A method of mechanical stabilization of ultra-high-AR microstructures

Nazmov, V. 1; Reznikova, E. 1; Mohr, J. 1; Voigt, A.
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.jmatprotec.2015.12.002
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Zitationen: 3
Web of Science
Zitationen: 2
Dimensions
Zitationen: 3
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2016
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0924-0136, 1873-4774
KITopen-ID: 1000053228
HGF-Programm 43.23.02 (POF III, LK 01) X-Ray Optics
Erschienen in Journal of materials processing technology
Verlag Elsevier
Band 231
Seiten 319-325
Nachgewiesen in Web of Science
Dimensions
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