Height control for small periodic structures using x-ray radiography
Schüttler, M. 1; Meyer, P.
1; Schaff, F.; Yaroshenko, A.; Kunka, D.
1; Besser, H. 2; Pfeiffer, F.; Mohr, J. 1
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Schaff, F.; Yaroshenko, A.; Kunka, D.
1; Besser, H. 2; Pfeiffer, F.; Mohr, J. 11 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0022-3735, 0368-4253, 0368-4261, 0950-1290, 0950-7671, 0957-0233, 1361-6501 KITopen-ID: 1000053249 |
| HGF-Programm | 43.23.02 (POF III, LK 01) X-Ray Optics |
| Erschienen in | Measurement science and technology |
| Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
| Band | 27 |
| Heft | 2 |
| Seiten | 025015 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus OpenAlex |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |