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Height control for small periodic structures using x-ray radiography

Schüttler, M.; Meyer, P.; Schaff, F.; Yaroshenko, A.; Kunka, D.; Besser, H.; Pfeiffer, F.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Institut für Angewandte Materialien - Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2016
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1088/0957-0233/27/2/025015
ISSN: 0022-3735, 0368-4253, 0368-4261, 0950-1290, 0950-7671, 0957-0233, 1361-6501
KITopen ID: 1000053249
HGF-Programm 43.23.02; LK 01
Erschienen in Measurement science and technology
Band 27
Heft 2
Seiten 025015
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