Capacitive inertial sensing at high temperatures of up to 400 °C
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0924-4247, 1873-3069 KITopen-ID: 1000053800 |
| HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
| Erschienen in | Sensors and actuators <Lausanne> / A |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 238 |
| Seiten | 361-368 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |