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Capacitive inertial sensing at high temperatures of up to 400 °C

Asiatici, Mikhail; Fischer, Andreas C.; Rödjegård, Henrik; Haasl, Sjoerd; Stemme, Göran; Niklaus, Frank



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2016
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1016/j.sna.2015.12.025
ISSN: 0924-4247, 1873-3069
KITopen ID: 1000053800
HGF-Programm 43.22.01; LK 01
Erschienen in Sensors and actuators <Lausanne> / A
Band 238
Seiten 361-368
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