| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1094-4087 urn:nbn:de:swb:90-538086 KITopen-ID: 1000053808 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Optics Express |
| Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
| Band | 24 |
| Heft | 2 |
| Seiten | 966-974 |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Gefördert durch den KIT-Publikationsfonds |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions OpenAlex Scopus |