Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2016 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1094-4087 urn:nbn:de:swb:90-538086 KITopen-ID: 1000053808 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Optics Express |
Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
Band | 24 |
Heft | 2 |
Seiten | 966-974 |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Gefördert durch den KIT-Publikationsfonds |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |