Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2016 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1050-2947 KITopen-ID: 1000053813 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Physical Review A |
Verlag | American Physical Society (APS) |
Band | 93 |
Heft | 1 |
Seiten | 013850 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |