Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2016 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0957-4484 KITopen-ID: 1000053872 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Nanotechnology |
Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
Band | 27 |
Heft | 14 |
Seiten | 145202 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |