| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2045-2322 urn:nbn:de:swb:90-538766 KITopen-ID: 1000053876 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Scientific Reports |
| Verlag | Nature Research |
| Band | 6 |
| Seiten | 22185 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions OpenAlex |