Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) Lichttechnisches Institut (LTI) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2016 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2195-1071 KITopen-ID: 1000054030 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Advanced optical materials |
Verlag | John Wiley and Sons |
Band | 4 |
Heft | 5 |
Seiten | 740-745 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |