| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) Lichttechnisches Institut (LTI) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2195-1071 KITopen-ID: 1000054030 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Advanced optical materials |
| Verlag | John Wiley and Sons |
| Band | 4 |
| Heft | 5 |
| Seiten | 740-745 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions OpenAlex Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |