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Dosierplattform zur Deposition von photoaktiven Fluiden für Anwendungen in der Photonik

Hofmann, A.; Kröger, M.; Ungerer, M.; Wondimu, S.; Dietrich, P.I.; Wienhold, T.; Lauermann, M.; Koos, C.; Bretthauer, G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ)
Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2015
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-8007-4100-7
KITopen ID: 1000054149
HGF-Programm 43.23.03; LK 01
Erschienen in MikroSystemTechnik Kongress 2015, Karlsruhe, 26.-28.Oktober 2015. Proceedings auf CD-ROM
Verlag VDE-Verl., Berlin
Seiten 127-130
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