Reliability characterization of a soot particle sensor in terms of stress- and electromigration in thin-film platinum
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Werkstoff- und Biomechanik (IAM-WBM) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076 KITopen-ID: 1000054273 |
| HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 22 |
| Heft | 3 |
| Seiten | 481-493 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |