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Reliability characterization of a soot particle sensor in terms of stress- and electromigration in thin-film platinum

Rusanov, R.; Rank, H.; Fuchs, T.; Mueller-Fiedler, R.; Kraft, O.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoff- und Biomechanik (IAM-WBM)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2016
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1007/s00542-015-2576-6
ISSN: 0946-7076
KITopen ID: 1000054273
HGF-Programm 43.12.03; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 22
Heft 3
Seiten 481-493
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