Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2016 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0146-9592 KITopen-ID: 1000054515 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Optics Letters |
Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
Band | 41 |
Heft | 6 |
Seiten | 1193-1196 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |