| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2330-4022 KITopen-ID: 1000054523 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | ACS Photonics |
| Verlag | American Chemical Society (ACS) |
| Band | 3 |
| Heft | 3 |
| Seiten | 349-353 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Dimensions Web of Science Scopus |