Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2016 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0946-2171 KITopen-ID: 1000054536 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Applied Physics B: Lasers and Optics |
Verlag | Springer |
Band | 122 |
Heft | 3 |
Seiten | 53 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |