Mixed-mode high-power impulse magnetron sputter deposition of tetrahedral amorphous carbon with pulse-length control of ionization
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0021-8979 KITopen-ID: 1000054686 |
| HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
| Erschienen in | Journal of Applied Physics |
| Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
| Band | 119 |
| Heft | 15 |
| Seiten | 155303 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |