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Design development of a Linear Diffusion Pump

Strobel, H.; Day, C.; Giegerich, T.; Müller, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Technische Physik (ITEP)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2016
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 1000054876
HGF-Programm 31.03.01 (POF III, LK 01)
Veranstaltung 80. Jahrestagung der DPG und DPG-Frühjahrstagung der Sektion Kondensierte Materie, Fachverband Vakuumphysik und Vakuumtechnik, Regensburg, 6.-11.März 2016.Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, R.6, B.51(2016), VA 3.2
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