Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Computational Materials Science (IAM-CMS) Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2016 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0935-9648, 1521-4095 KITopen-ID: 1000055011 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Advanced materials |
Verlag | John Wiley and Sons |
Band | 28 |
Heft | 28 |
Seiten | 5865-5870 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |