| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Computational Materials Science (IAM-CMS) Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0935-9648, 1521-4095 KITopen-ID: 1000055011 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Advanced materials |
| Verlag | John Wiley and Sons |
| Band | 28 |
| Heft | 28 |
| Seiten | 5865-5870 |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science OpenAlex Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |