Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-147997465-8 KITopen-ID: 1000055083 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | 2015 IEEE Photonics Conference (IPC 2015), Reston, Virginia, USA, 4 - 8 October 2015 |
Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
Seiten | Art. Nr. 7323552 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |