Scalable Fabrication of Integrated Nanophotonic Circuits on Arrays of Thin Single Crystal Diamond Membrane Windows
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Center for Functional Nanostructures (CFN) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1530-6984 KITopen-ID: 1000055345 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Nano Letters |
| Verlag | American Chemical Society (ACS) |
| Band | 16 |
| Heft | 5 |
| Seiten | 3341–3347 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |