| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Physikalische Chemie (IPC) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1749-4885, 1749-4893 KITopen-ID: 1000055868 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Nature photonics |
| Verlag | Nature Research |
| Band | 10 |
| Heft | 6 |
| Seiten | 420–428 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Web of Science Scopus Dimensions |