Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2016 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0003-6951 KITopen-ID: 1000055990 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Applied Physics Letters |
Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
Band | 108 |
Heft | 22 |
Seiten | Art.Nr.:221903 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |